隨著人們對產(chǎn)品質(zhì)量和精度的關(guān)注，越來越多的企業(yè)開始使用超精密機(jī)床進(jìn)行生產(chǎn)加工。但是，在超精密機(jī)床的制造過程中，結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜，因此對機(jī)床的材料要求也很高。由不同材料制成的機(jī)床的特性也不同。過去，床身和導(dǎo)軌的材料都是鑄鐵的。現(xiàn)在，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，材料變得豐富起來。

靜壓導(dǎo)軌通常由絲杠驅(qū)動。為避免絲杠與螺母摩擦產(chǎn)生爬行，可采用滾珠絲杠。滾珠絲杠副一般是標(biāo)準(zhǔn)件，可以使用。但隨著步行速度的提高，熱沖擊成為一個(gè)嚴(yán)重的問題。因此，有些使用靜液壓螺釘。靜壓絲桿結(jié)構(gòu)復(fù)雜，需要自制。在絲杠與螺母的結(jié)合面上，油槍由壓力油形成，使結(jié)合面不直接接觸，提高了導(dǎo)軌的傳動穩(wěn)定性。

近年來，為了提高導(dǎo)軌運(yùn)動的平穩(wěn)性，超精密機(jī)床采用摩擦驅(qū)動或鋼輥驅(qū)動導(dǎo)軌。 這些新的驅(qū)動方法已應(yīng)用于超精密機(jī)床，并取得了良好的效果。

根據(jù)超精密機(jī)床主軸驅(qū)動原理，介紹了超精密機(jī)床制造過程中床身和導(dǎo)軌的材料..

1、 優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵

鑄鐵是傳統(tǒng)的床身導(dǎo)軌材料，具有工藝精良的優(yōu)點(diǎn)。 精密機(jī)床的床身和導(dǎo)軌應(yīng)選用耐磨性好、熱膨脹低、減振能力強(qiáng)、時(shí)效消除應(yīng)力的優(yōu)質(zhì)合金鑄鐵。

2、 花崗巖

花崗巖現(xiàn)在是人們用來制造床身的材料，也是三坐標(biāo)測量機(jī)和超精密機(jī)床的導(dǎo)軌。這是因?yàn)榛◢弾r比鑄鐵具有更好的長期尺寸穩(wěn)定性，更低的熱膨脹系數(shù)，比鋼具有更高的多次振動衰減能力，高硬度，耐磨性和無銹性。

當(dāng)花崗巖被用作底座時(shí)，通常使用塊狀物，并在底座上鉆孔螺母，以便與其他部件連接。 導(dǎo)軌通常是用花崗巖制成的。 但是花崗巖的加工比較困難。 氣體靜壓軸承節(jié)流孔的加工在花崗巖中較為困難，因此導(dǎo)軌采用花崗巖和鋼材制成，以便加工。

花崗巖的主要缺點(diǎn)是吸濕性，吸濕性產(chǎn)生微量變形，影響精度。為了降低花崗巖表面的吸濕性，人們提出了在花崗巖表面涂上某種涂層。

3、 人造花崗巖

花崗巖吸濕性，無法施展。為了解決這個(gè)問題，人造花崗巖制成國外。這是一個(gè)花崗巖粉碎材料并通過粘接得到的樹脂。人造花崗巖可以由減振能力的人造花崗巖的不同粒徑花崗巖體積比的組合來提高比天然花崗巖，和容易成型，低熱導(dǎo)率更高。