在機(jī)械加工生產(chǎn)中，許多人對(duì)電子束加工不太了解。 電子束加工主要是將高分子量材料用功率密度相對(duì)較低的電子束輻照，即使很難引起材料表面溫度的升高，也會(huì)由于入射電子與聚合物的碰撞而切斷或重新聚合分子鏈，從而使材料的分子量和化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，這是電子束的化學(xué)效應(yīng)。 這種效應(yīng)用于電子束光刻。

在電子束光刻中，電子束主要可以用來進(jìn)行曝光，它有兩種不同方式：一種為電子束掃描曝光，另外就是一種是電子束投影曝光。針對(duì)電子束這種方法加工下面對(duì)鉤網(wǎng)就來分析具體情況介紹研究一下。

電子束的加工裝置

電子束處理裝置主要由電子槍系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，電源系統(tǒng)及其控制系統(tǒng)。

電子槍用來進(jìn)行發(fā)射技術(shù)高速電子流，它是在真空環(huán)境條件下，利用工作電流通過加熱過程中陰極可以發(fā)射電子束，經(jīng)控制柵極初步研究聚焦后，由加速陽極不斷加速。陰極過程可用純鎢、鎢鉬等材料加工制成。控制柵極為財(cái)務(wù)總監(jiān)有孔的圓筒，在其上加比陰極較負(fù)的偏壓，起束流強(qiáng)度以及控制和初步發(fā)展聚焦重要作用。在加速陽極上加比陰極為正的高壓，起吸引和加速電子流的作用。

真空系統(tǒng)是真空的，因?yàn)樵谡婵罩须娮涌梢愿咚僖苿?dòng)，發(fā)射陰極在高溫下不會(huì)被氧化，也可以防止被加工表面和金屬蒸氣氧化。 為了消除加工過程中金屬蒸氣對(duì)電子發(fā)射不穩(wěn)定性的影響，電子束加工采用開放式真空系統(tǒng)，即連續(xù)提取加工過程中產(chǎn)生的金屬蒸氣..

控制管理系統(tǒng)是由聚焦技術(shù)裝置、偏轉(zhuǎn)裝置和工作臺(tái)水平位移監(jiān)測(cè)裝置等組成，控制進(jìn)行電子束束斑大小、方向和工件位移。

的電源系統(tǒng)提供電源，和各種控制電壓的加速電壓。

電子束的加工特點(diǎn)

1、 束徑小、能量進(jìn)行密度高

電子束可以極細(xì)聚焦，同時(shí)電子束長(zhǎng)度的最小光束直徑可達(dá)其光束直徑的幾十倍，因此可適用于深孔加工。

2、 被加工研究對(duì)象進(jìn)行范圍廣

電子束加工是在熱范圍的熱和化學(xué)效應(yīng)可以是小的，而且在真空中，在高的化學(xué)純度的處理，它是適合于加工各種硬，脆，可延展的金屬和非金屬材料，熱敏材料，可氧化的金屬和合金，高純度的半導(dǎo)體材料。因?yàn)閼?yīng)力在工件的加工和變形時(shí)幾乎不產(chǎn)生，它是適合于加工變形的部分。

3、 加工處理速度快、效率高

控制性能好，易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化

可通過磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子束的強(qiáng)度、束徑、位置信息進(jìn)行發(fā)展迅速及時(shí)準(zhǔn)確地控制，且自動(dòng)化技術(shù)程度高。易于生產(chǎn)加工利用圖形、圓形、異型孔及窄縫等。

電子束進(jìn)行加工的應(yīng)用研究范圍很廣，可用來打各種孔、切槽、焊接、光刻、表面化學(xué)改性等，它既是作為一種通過精密機(jī)械加工處理方法，又是為了一種具有重要的微細(xì)加工方式方法。近年來，出現(xiàn)了多脈沖電子束照射等技術(shù)，使電子束加工有了更進(jìn)一步的發(fā)展。